工業用グレードよりもより純度の高い
高純度ガス

工業用グレードのガスよりもより純度が高いガスを高純度ガスと呼び、分析などの分野で幅広く使用されています。
純度を上げるために工業用ガスと比べると高価になっています。
ガスの種類によって高純度と呼ばれる純度が異なるため、注意が必要です。

高純度ガス

一般工業用高圧ガスよりもさらに純度を高くした純度99.999%などの研究や分析などで使用される高純度なガスです。
グレードによって純度が異なります。また純度が高くなればなるほど高額になります。
一種類のガスの場合は純ガスと呼び、ニ種類以上の高純度ガスを混ぜたものを標準ガスと呼びます。
また使用する圧力調整器（レギュレータ）や配管部材も高純度ガス対応のものが必要になります。

純度（グレード）による違い　※窒素の場合

窒素の場合は、工業用グレードは>99.9vol.%、高純度になるとG3で99.9995vol.%、G2で99.9998vol.%、最上級のG1で99.99995vol.%と純度が限りなく100％に近づいていきます。（100％のガスはありません）
工業用窒素の場合は、工業用のレギュレーター、高純度G3グレードであれば、真鍮製の高純度ガス用のレギュレータ、G2、G1グレードになるとガスに接する部分がオールステンレスの高純度用のレギュレーターを使用する必要があります。

高純度酸素

グレード・純度

G1 ＞99.99995vol%

G2 ＞99.999vol%

G3 ＞99.9vol%

サイズ

10L
47L

充填圧力

1.47MPa
(150㎏/cm²)

充填量

1.5㎥
7㎥

※ 工業用酸素＞99.5vol%

高純度窒素

グレード・純度

G1 ＞99.99995vol%

G2 ＞99.9998vol%

G3 ＞99.9995vol%

サイズ

10L
47L

充填圧力

14.7MPa
(150㎏/cm²)

充填量

1.5㎥
7㎥

※ 工業用窒素＞99.9vol%

高純度水素

グレード・純度

G1 ＞99.99995vol%

G2 ＞99.999vol%

サイズ

10L
47L

充填圧力

14.7MPa
(150㎏/cm²)

充填量

1.5㎥
7㎥

※ 工業用水素＞99.9vol%

高純度アルゴン

グレード・純度

G1 ＞99.9999vol%

G2 ＞99.9995vol%

G3 ＞99.999vol%

サイズ

10L
47L

充填圧力

14.7MPa
(150㎏/cm²)

充填量

1.5㎥
7㎥

※ 工業用アルゴン＞99.99vol%

高純度ヘリウム

グレード・純度

G1 ＞99.99995vol%

G2 ＞99.999vol%

サイズ

10L
47L

充填圧力

11.8MPa・
14.7MPa

充填量

1.5㎥
7㎥

※ 工業用ヘリウム＞99.99vol%

高純度空気

グレード・純度

G1 大気組成

G2 大気組成

G3 大気組成

サイズ

10L
47L

充填圧力

14.7MPa
(150㎏/cm²)

充填量

1.5㎥
7㎥

※ 大気組成：窒素78.10％、酸素20.90％、
アルゴン0.93％、二酸化炭素0.03％

混合ガスと標準ガス

2種類以上のガスを混ぜたガスでも混合ガスと標準ガスでは、下記の違いがあります。
使用しているガスのグレード：標準ガスは、高純度グレードのガスを使用しているのに対し、混合ガスに使用されるガスのグレードは指定がない。
指定濃度の合格範囲:標準ガスは指定濃度の±5％以内の混合比率、混合ガスは、指定濃度の±10％以内。
※一部混合比率の場合、上記条件を満たさない場合があります。
（例）
N2ベース+H2（10％）の場合
ニ種混合ガスは、水素の濃度が9～11％の範囲になっているのに対し、2種標準ガスは水素の濃度が9.5～10.5％の範囲となります。

混合ガス

標準ガス

混合するガスの
純度・グレード

工業用グレード

高純度ガスグレード
G1

混合精度

指定濃度の±10％以内

指定濃度の±5％以内

高純度グレードのガスを混合させた
標準ガス